Безмасочная литография: как это работает

Гонконгский университет науки и технологий (HKUST) представил уникальную разработку — первую в мире матрицу микросветодиодов, работающих в диапазоне глубокого ультрафиолетового излучения (UVC).

Фото: commons.wikimedia.org by El contenido de Pixabay se pone a su disposición en los siguientes términos, https://creativecommons.org/public-domain/pdm/

Схема, технологии

Эта технология обещает снизить стоимость безмасочной фотолитографии благодаря высокой плотности световой мощности, ускоряющей процесс экспонирования фоторезистивных плёнок.

Прорывная технология

Литографическая машина, ключевое оборудование для производства полупроводников, традиционно использует ртутные лампы и ультрафиолетовые светодиоды.

Однако такие устройства имеют ряд недостатков: низкое разрешение, высокое энергопотребление и недостаточную оптическую мощность.

Для устранения этих проблем команда создала платформу безмасочной литографии. Они успешно изготовили первое устройство на основе микросветодиодов UVC, которое демонстрирует:

• высокую светоотдачу;
• улучшенное распределение тепла;
• снижение эпитаксиального стресса в процессе производства.

Ключевые достижения

"Команда добилась важнейших прорывов, включая создание высокомощных микросветодиодов с высоким разрешением, способных быстро экспонировать фоторезисты. Это открывает новые возможности в производстве полупроводников"  — подчеркнул Квок Хой-Синга, директора Государственной ключевой лаборатории передовых дисплеев и оптоэлектронных технологий HKUST.

Разработанный дисплей объединяет источник ультрафиолетового света и узоры маски, что позволяет ускорить процесс экспонирования.

"Микросветодиоды с короткой длиной волны, чувствительные к фоторезистам, играют ключевую роль в этой области" - добавил Квок. 

Преимущества новой технологии 

"Наше устройство отличается меньшим размером, низким напряжением возбуждения, высокой квантовой эффективностью и разрешением дисплея. Эти улучшения делают нашу технологию лидером в мировой индустрии" — добавил Доктор Фэн Фэн, научный сотрудник кафедры электроники HKUST.

Планы на будущее

В дальнейшем команда намерена улучшать характеристики микросветодиодов AlGaN, разрабатывать дисплеи с разрешением до 8000 пикселей и совершенствовать прототипы.

Уточнения

Литогра́фия (от др.-греч. λίθος — «камень» + γράφω — «пишу, рисую») — разновидность печатной графики, основанная, в отличие от гравюры, на технике плоской печати, при которой типографская краска под давлением переносится с плоской печатной формы на бумагу.